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线性驱动
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产品概述 product overview
高精度全尺寸三维平移台可以使焊接波纹管在x, y，z三个方向上运动。采用直线导轨结构和高精度滚珠丝杆，结构强壮紧凑。配合伺服电机和光栅尺，可达到亚微米级精度。可与高精度dprf搭配使用。该产品作为模块化产品， 多个配置可供选择。
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规格说明 specification
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● 工作气压：10-11 mbar~1 bar |
● 局部波纹管部分烘烤120℃ |
● 采用ss316材料焊接的波纹管 |
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● 通径：102mm |
● 伺服电机驱动 |
● 采用直线导轨结构和高精度滚珠丝杆 |
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● 光栅尺闭环反馈 |
● xyz轴分辨率：0.2μm |
● 上端安装法兰：cf法兰，通孔 |
| ● 下端安装法兰：cf法兰，通孔 | ● 上下法兰距离（z零位）：410.5毫米 |
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| a法兰直径 | b法兰直径 | xy行程 | z行程 | ||
| 毫米 | 英寸 | 毫米 | 英寸 |
毫米 |
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| 152 | 6 | 203 | 8 | ±12.5 | 可达650 |
产品尺寸 dimension drawing
视频 video
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